OMRON CKD VP01G

OMRON CKD VP01G

採用獨自檢查技術

環狀照明
對於檢測對象物(錫膏),採用環狀光源(360度全方位)照射,抽取錫膏形狀,可正確抽出錫膏的形狀輪廓。
通過此方法,只對有錫膏區域進行3 D檢測,實現更具有信賴性的檢查。

3 D投影儀
採用斜上方設置的3 D投影儀,把摩爾條紋投影到對象面,使用垂直方向設置的相機抓拍。
當對象物有高度的情況下,投影的摩爾條紋會產生相位偏移,把這個偏移量根據三角測量的原理換算成高度。

Z軸補正功能
對每個檢查窗口進行板彎識別,補正相機和基板間的距離,對準焦點進行板彎檢查。
水準分辨率 標準解析度 高解析度(1/2) 超高解析度(1/3)
25um 25um 12.5um 8.5um
20um 20um 10um 7um
15um 15um 7.5um 5um
10um(選配) 10um 5um -